Български институт за стандартизация
Чрез стандартите - винаги крачка напред
Телефон: +359 2 8174 523, +359 2 8174 504
E-mail: info@bds-bg.org
София 1797, ул. "Лъчезар Станчев" 13, ж.к. "Изгрев"
ЕИК: 175079183, ИН по ДДС: BG175079183
Главно меню

ISO 23216:2021

Carbon based films — Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry
4.05.2021 г.

Главна информация

60.60     4.05.2021 г.

ISO

ISO/TC 107

Международен стандарт

25.220.99  

английски   френски  

Купи

Действащ

Език, на който желаете да получите документа

Обект и област на приложение

This document specifies spectroscopic ellipsometry for the determination of optical properties (refractive index n and extinction coefficient k) and the optical classification of different types of amorphous carbon films within the n-k plane.
It is applicable to amorphous carbon films deposited by ionized evaporation, sputtering, arc deposition, plasma-assisted chemical vapour deposition, hot filament techniques and others.
It does not apply to carbon films modified with metals or silicon, amorphous carbon films that have a gradient of composition/property in the thickness, paints and varnishes.

Жизнен цикъл

СЕГА

ДЕЙСТВАЩ
ISO 23216:2021
60.60 Публикуван стандарт
4.05.2021 г.

Национален стандарт

Въглеродни филмови покрития. Определяне на оптичните свойства на филмови покрития от аморфен въглерод чрез спектроскопска елипсометрия (ISO 23216:2021)

60.55 Приемане на ратифициран текст (DOR)

ТК-42 още