Чрез стандартите - винаги крачка напред
E-mail: info@bds-bg.org
София 1797, ул. "Лъчезар Станчев" 13, ж.к. "Изгрев"
ЕИК: 175079183, ИН по ДДС: BG175079183
ISO 23216:2021
Carbon based films — Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry
Главна информация
Купи
Действащ
Обект и област на приложение
This document specifies spectroscopic ellipsometry for the determination of optical properties (refractive index n and extinction coefficient k) and the optical classification of different types of amorphous carbon films within the n-k plane.
It is applicable to amorphous carbon films deposited by ionized evaporation, sputtering, arc deposition, plasma-assisted chemical vapour deposition, hot filament techniques and others.
It does not apply to carbon films modified with metals or silicon, amorphous carbon films that have a gradient of composition/property in the thickness, paints and varnishes.
Жизнен цикъл
СЕГА
ДЕЙСТВАЩ
ISO 23216:2021
60.60
Публикуван стандарт
4.05.2021 г.
Национален стандарт
Филми на въглеродна основа. Определяне на оптичните свойства на филми от аморфен въглерод чрез спектроскопска елипсометрия (ISO 23216:2021)
60.60 Публикуван стандарт