Български институт за стандартизация
Чрез стандартите - винаги крачка напред
Телефон: +359 2 8174 523, +359 2 8174 504
E-mail: info@bds-bg.org
София 1797, ул. "Лъчезар Станчев" 13, ж.к. "Изгрев"
ЕИК: 175079183, ИН по ДДС: BG175079183
Главно меню

prБДС EN ISO 23216:2022

Въглеродни филми. Определяне на оптичните свойства на филми от аморфен въглерод чрез спектроскопска елипсометрия (ISO 23216:2021)

Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry (ISO 23216:2021)

Главна информация

60.55     30.10.2022 г.

60.60   

BDS

ТК-42

Европейски стандарт

25.220.99  

Обект и област на приложение

Този документ специфицира спектроскопска елипсометрия за определяне на оптичните свойства (индекс на пречупване n и коефициент на екстинкция k) и оптичната класификация на различни видове филми от аморфен въглерод в n-k равнината.
Приложим е за филми от аморфен въглерод, отложени чрез йонизирано изпаряване, разпрашаване, дъгово отлагане, плазмено асистирано химическо отлагане на пари, техники за отлагане с горещи нишки и други.
Не се прилага за въглеродни филми, модифицирани с метали или силиций, филми от аморфен въглерод, които имат градиент на състав/свойство в дебелината, бои и лакове.

Жизнен цикъл

СЕГА

ПРОЕКТ
prБДС EN ISO 23216:2022
60.55 Приемане на ратифициран текст (DOR)
30.10.2022 г.

Свързан проект

Въвежда EN ISO 23216:2022 IDENTICAL

Въвежда ISO 23216:2021